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技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2023-05-05 
瀏覽次數(shù)：348快速穩(wěn)定的控制
車載氣體轉(zhuǎn)換模型
嵌入了 22 種特的氣體
多參數(shù)輸出：質(zhì)量流量、溫度和壓力
USB-C 和藍(lán)牙通信
FLEXI-FLOW 緊湊型質(zhì)量流量/壓力控制器適用于在真空和 17 bar(a) 之間的工作壓力下精確測(cè)量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之間的流量范圍。該儀器將基于毛細(xì)管 MEMS 技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器與精確且經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的旁路結(jié)構(gòu)相結(jié)合。由于特的國(guó)際專，精確的質(zhì)量流量測(cè)量得以建立，幾乎不受溫度和管線壓力變化的影響。結(jié)合集成溫度和上游和下游壓力傳感器，22 種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫(kù)可實(shí)現(xiàn)精確的機(jī)載轉(zhuǎn)換。多參數(shù)儀器為用戶提供有用的過(guò)程信息。
FLEXI-FLOW 緊湊型質(zhì)量流量/壓力控制器目前有 3 種型號(hào)可供選擇：
“高級(jí)預(yù)配置"(PA)，量程比 1:500，流量 + 溫度 + 上游和下游壓力，4 個(gè)流量范圍（FS，基于 N 2）：
FF-A500 型 - 500 ml n /min
FF-A2K0 型 - 2 l n /min
FF-A5K0 型 - 5 l n /min
FF-A20K 型 - 20 l n /min
“預(yù)配置標(biāo)準(zhǔn)"(PS)，量程比 1:50，流量 + 溫度，4 個(gè)流量范圍（FS，基于 N 2）：
FF-S500 型 - 500 ml n /min
FF-S2K0 型 - 2 l n /min
型FF-S5K0 - 5 升/分鐘
FF-S20K 型 - 20 升/分鐘
“按訂單制造"(BtO)，調(diào)節(jié)比 1:1000；在 0.5 和 20 l n /min（FS，基于 N 2）之間自由選擇范圍，
FF-C10 型：流量 + 溫度
FF-C11 型：流量 + 溫度 + 上游和下游壓力；
BtO 模型也可用于配置多達(dá) 8 個(gè)通道的多通道版本。
| 測(cè)量/控制系統(tǒng) | |
|---|---|
| 流量范圍（可提供中間范圍） | 分鐘。 最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min （以 N 2計(jì)） |
| 壓力范圍 | PA：0...17 bar(a) PS：不可用 BtO：FF-C10：不可用 / FF-C11：0...17 bar(a) |
| 精度（包括線性度）（基于實(shí)際校準(zhǔn)） | PA：±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 )； PS：±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 ); BtO：高達(dá) ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 )； 對(duì)于其他氣體增加轉(zhuǎn)換不確定性；查看多氣體表； |
| 重復(fù)性 | 流量傳感器：< ±0.2% Rd； 壓力傳感器：< ±0,2% FS |
| 調(diào)節(jié)比 | PS：1:50 PA：1:500 BtO：高達(dá) 1:1000 |
| 最大限度。運(yùn)營(yíng)壓力 | 16巴克 |
| 多氣體/多范圍 | 以及這些氣體的任何混合物的嵌入式氣體數(shù)據(jù) |
| 穩(wěn)定時(shí)間（受控，典型） | < 150 毫秒 |
| 長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | < 0.5% 滿量程 3 年；然后 < 0,2% FS 每年 |
| 控制穩(wěn)定性 | < ± 0,1% FS（1 l n /min N 2 的典型值） |
| 工作溫度 | 0 … 50攝氏度 |
| 儲(chǔ)存/運(yùn)輸條件 | -20 … +80 °C，最大值 95% RH（非冷凝） |
| 安裝 | 任意位置，姿態(tài)敏感度可忽略不計(jì) |
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