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otsukael積分光度計(jì)

otsukael積分光度計(jì)除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過(guò)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來(lái)兼容所有類(lèi)型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過(guò)為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SLS-6500HL
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間:2023-04-21
  • 訪  問(wèn)  量:3489
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otsukael靜態(tài)光散射光度計(jì) 積分光度計(jì)SLS-6500HL的介紹

除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過(guò)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來(lái)兼容所有類(lèi)型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過(guò)為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。

特征:
  • 可在紫外-可見(jiàn)(300 至 800 nm)波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量橢圓參數(shù)

  • 能夠分析納米級(jí)多層薄膜的膜厚

  • 通過(guò) 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜

  • 支持通過(guò)可變反射角測(cè)量對(duì)薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析

  • 通過(guò)創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)和添加配方注冊(cè)功能提高可操作性

 

測(cè)量項(xiàng)目
  • 橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ)測(cè)量

  • 光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析

  • 膜厚分析

 

測(cè)量對(duì)象
  • 半導(dǎo)體ウェーハ
    ゲート酸化薄膜,窒化膜
    SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
    レジストの光學(xué)定數(shù)(波長(zhǎng)分散)

  • 化合物半導(dǎo)體
    AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各種新素材
    DLC(Diamond Like Carbon),超伝導(dǎo)用薄膜,磁気ヘッド薄膜

  • 光學(xué)薄膜
    TiO2,SiO2,反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    g線(xiàn)(436nm),h線(xiàn)(405nm),i線(xiàn)(365nm)などの各波長(zhǎng)におけるn,k評(píng)価

 

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