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shuwaind晶圓貼片機

立式平面磨床 SGM-8000 是一種可以輕松快速地高精度磨削難切削材料(藍寶石、SiC、GaN 等)的設備。砂輪軸承與工件軸承垂直排列,各軸承旋轉(zhuǎn),砂輪軸承進給到工件軸承一側(cè)進行磨削。此時,砂輪軸承往復擺動(新shuwaind晶圓貼片機KBM-100的介紹

  • 產(chǎn)品型號:KBM-100
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-04-20
  • 訪  問  量:740
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shuwaind晶圓貼片機KBM-100的介紹

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立式平面磨床 SGM-8000 是一種可以輕松快速地高精度磨削難切削材料(藍寶石、SiC、GaN 等)的設備。砂輪軸承與工件軸承垂直排列,各軸承旋轉(zhuǎn),砂輪軸承進給到工件軸承一側(cè)進行磨削。此時,砂輪軸承往復擺動(新機構(gòu)),可將脆性材料基板磨削成薄片且損傷小。最大加工直徑為Φ300,可批量加工,生產(chǎn)率高。

特點

  • 搖擺機構(gòu)

  • 在砂輪軸承來回擺動的同時進行磨削。此時,磨削應力在橫向上得到緩和,加工變質(zhì)層變淺,可以進行損傷小的磨削,可以將基板加工得更薄。

  • 過載感應系統(tǒng)

  • 如果在磨削過程中施加超過設定值的載荷,進給會倒退,暫時釋放磨石和工件上的應力,重新開始進給。該系統(tǒng)可防止工件承受強應力,從而實現(xiàn)磨削時損傷較小。

  • 間歇供料系統(tǒng)

  • 在重復進給和間隔的同時進行磨削。它去除間隔之間的切屑,冷卻金剛石砂輪,降低磨削應力,從而可以輕柔地磨削工件。


  • 零接觸系統(tǒng)

  • 該裝置檢測砂輪與工件接觸的位置,并自動設定原點位置。

  • 振蕩

  • 當磨削進行到目標尺寸值時,磨石在不超過設定值的范圍內(nèi)上下擺動。可以獲得更高的平面度和均勻的表面粗糙度。

  • 自動測量系統(tǒng)

  • 工件厚度在加工過程中自動測量,剩余磨削量由設備根據(jù)該數(shù)據(jù)自行計算,并再次磨削。研磨可全自動完成。無需在設備外測量工件厚度,可減少工序人工。





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